專訪／溫控精度到「小數點後三位」超車外商　奇鼎打入台美半導體大廠無塵室

隨著半導體製程微縮，更精確的環境控制成為守住良率的關鍵。台灣半導體製程設備業者奇鼎科技憑藉自主研發實力，成功突破外商長期壟斷，主力產品製程精密溫濕度控制機組（TCU）能將機台內部微環境溫控精度推升至正負0.001度、「小數點後三位」的高水準，不僅已在台灣半導體大廠的先進封裝產線全面放量，更直接拿下美系半導體大廠訂單，未來隨著AMC氣態分⼦污染物控制需求提升，濕式製程AMC去除設備（WACU）未來有望接棒成為下一波成長動能。

半導體製程越先進，對溫度的敏感度就越高。一般無塵室廠房空調精度多落在攝氏正負1度至攝氏正負2度之間，但動輒數億至數十億元的先進製程設備內部，哪怕只有微幅的溫度震盪，都會導致晶圓與精密光學鏡頭產生熱脹冷縮，進而造成良率下降。

奇鼎科技（6849）目前營運主力正是針對先進封裝廠內的精密溫濕度控制機組（TCU），目前已經順利打進半導體大廠先進封裝供應鏈，隨著客戶持續擴產，將以「複製貼上」的形式長期出貨。