台積電2030年導入High-NA！攜手ASML攻12吋光罩　2033年拚量產

半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）與台積電宣布發起合作，共同引領半導體產業轉移升級至更大尺寸的極紫外光（EUV）微影光罩。

台積電何時導入半導體製造最先進的High NA技術一直是外界關注焦點，今年股東會上就有股東提問是不是沒買High-NA EUV（高數值孔徑極紫外光微影），不過台積電董事長魏哲家回應，台積電有買，只是不便對外揭露購買數量，且還沒投入生產。

半導體設備大廠ASML也透露，High NA EUV正在加速導入量產，全球有4家客戶完成10台High NA EUV裝機並投入運作，同時有3台正在出貨、裝機。