美國能源部週六(24日)宣布將氦氣列為「關鍵材料」,並直言此種惰性氣體攸關半導體生產,卻無可行的替代品。美方此舉除了將加大資助自家氦氣生產商,恐也將收緊出口。但ESG顧問公司匯續分析,台灣半導體廠商近年投入「氦氣純化回收系統」,利用廠房內部的氣體循環利用技術,降低了對外部進口的依賴。
氦氣是開採天然氣所取得的一大副產品,用於汽車安全氣囊、磁振造影(MRI)設備,以及半導體製造等領域,尤其氦有助於冷卻和保存矽晶圓。據美國地質調查所報告,美國為全球最大氦氣生產國,去年即貢獻了全世界43%的產出,卡達和阿拉伯聯合大公國也是主要出口國。不過,美國能源部聲明坦言,即使美國蘊藏大量含氦天然氣,產量仍跟不上全球需求成長,且精煉產能有限、許可審查耗時,都讓美國製造業面臨供應風險。除了氦之外,美國的關鍵材料清單還包含了鋰、鎂、鈷等元素。
自從美國總統川普(Donald Trump)2月底悍然發動對伊朗戰爭,造成波斯灣航道受阻,晶片製造商只得另尋其他氦氣供應國。台灣今年上半年的氦氣所需,近60%自美國進口,較去年僅4%的占比大躍升。
匯續3月曾撰文,直指傳統「線性」工業思維,即買進氦氣、用於製程,最終排放至大氣的模式,在地緣風險高漲的現今,無異於「把脖子交到別人手裡」。反之,台灣半導體廠商耗費巨資全面導入的氦氣純化回收系統,在EUV設備排氣端安裝捕捉裝置,用以攔截廢氦氣,再以變壓吸附(PSA)或低溫精餾技術,將回收氣體純化至99.999%級高純度,再送回製程中利用。目前台灣大型晶圓廠的氦氣回收技術已達80%至90%,可有效降低對現貨市場的依賴。
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