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2023.06.19 05:58 臺北時間

【直擊3M黑科技1】從菜瓜布華麗轉身 3M成半導體先進製程背後推手

3M菜瓜布廣為人知,底層的研磨技術,也意外成為實現半導體先進製程的關鍵推手。
3M菜瓜布廣為人知,底層的研磨技術,也意外成為實現半導體先進製程的關鍵推手。
從研磨技術起家,3M第一個相關技術在台灣廣為人知的產品,就是廚房必備的菜瓜布。如今,這項延續百年的技術也隨著時間不斷地進化,成為半導體先進製程2奈米、3奈米的關鍵推手。
「3M是一家百年企業,最早期是一家開礦公司,而後從開礦跳進研磨材料領域」,3M技術長處長陳君杰說道。3M起初是為汽車產業提供砂紙研磨材料,而後這項研磨專長延伸到一般人所熟知的菜瓜布。
然而最讓大家意想不到,這個造就菜瓜布的研磨材料技術,被開發後,有朝一日,竟成為實現半導體先進製程的重要推手之一。
「3M為半導體提供晶圓平坦化研磨,在半導體產業中扮演重要角色,更是讓2、3奈米不可或缺的關鍵一環」,陳君杰驕傲地說道。他解釋,晶圓平坦化有一個很重要的製程,稱為化學機械平坦化(CMP),這個製程中需要有研磨片,以及負責研磨研磨片的材料,也就是鑽石研磨墊平整器(Conditioner),而3M就是主要提供鑽石研磨墊平整器的廠商。
陳君杰表示,過去十多年來,3M從鑽石研磨材料一路將技術提升,開發出一套新型合成材料。
陳君杰表示,過去十多年來,3M從鑽石研磨材料一路將技術提升,開發出一套新型合成材料。此技術是透過顯微複製加上材料技術整合而成的合成材料,在研磨開始就與跟客戶合作,搭配出來最佳化研磨平板化的製程,能有效提高研磨的精密度。
放眼全球,3M面對的競爭對手國內外都有,但被問及3M的占有率狀況?陳君杰回應,很難說明現在市占狀況,因為早期成熟製程的100奈米、50奈米,到20奈米都會有晶圓平坦化的需求,只是要求不盡相同,但可以肯定的是,3M的技術在先進製程上,占有比較大的優勢。
除了研磨外,陳君杰順帶一提,在半導體產業也需要工業安全,半導體產業裡面有很多氣體,只要有危險氣體外洩、警報響起,公安人員就要全副武裝進去,而那套設備就是3M的。從礦業起家,3M也將這套全面的安全防護設備用於半導體安全維護上。
更新時間|2023.09.12 20:46 臺北時間

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