民眾A先生向本刊指出，該機台是由工研院向中方採購後，直接進入工研院內，懷疑是否有中國籍技術人員入院，進行機台安裝及後續教育訓練？若中方人員可進入工研院，是否涉及違反兩岸人民關係條例？甚至該機台採購後，是否曾提供給國內半導體業界的使用？ 又該設備可否進行網路連線？種種關鍵問題，工研院應詳加說明。
據了解，該設備係工研院於2018年1月所招標的「八吋磁性薄膜離子束蝕刻系統」，並於同年2月份開標，當時總共邀來1家台灣廠商、日本大廠佳能（Canon），及中國的「江蘇魯汶儀器有限公司」進行投標，最後中國廠商以4,600多萬元得標。
A先生質疑，該得標廠商在其網站簡介中大喇喇寫著：「江蘇魯汶儀器有限公司是由比利時魯汶儀器、中科院微電子研究所等共同注資成立。公司總部位於江蘇省邳州市，在比利時設有研發中心及銷售部，在北京和俄羅斯設有銷售部。」且該廠商得標後，還在江蘇的《邳州新聞》上曝光，直接公開將機台售予台灣工研院的資訊，此舉是否涉及中國大外宣？
A先生認為，近年來中方積極扶植其半導體等高科技產業，除了高薪向我方科技廠挖角外，甚至還透過各種管道竊取關鍵技術，連日本及韓國都採取預防措施，強力建議政策補助國內廠商的設備來投入研發。工研院為台灣第一國家級研究單位，又是半導體最前瞻的技術研發核心，卻選擇採購中方設計研發的系統？應請工研院釋疑。
針對遭民眾指控採購中國半導體機台，並有中方人員入院維修、保養，引發國安、資安疑慮等問題，工研院說明如下：
1. 有關本院2018年1月採購「磁性薄膜離子束蝕刻系統」教育版本一案，對外公開招標相關程序以公平及公開方式辦理，並符合政府與本院採購規定，由比利時相關合資公司得標。新加坡，土耳其、比利時等國的研發單位也曾採購該系統設備。
2. 該公司人員入院，均依政府法令及本院之門禁管制作業規範，經過申請程序審查通過，並全程管制與紀錄，並在公開環境下依相關規定操作執行，全程皆有派員陪同。該設備無對外聯網，無資料外洩及資安疑慮。
3. 2020年本院依政府規定不得採購大陸資通訊產品時，即調整採購規範；同時以高標準全面清查院內已有之大陸品牌資通訊產品，對於有資安疑慮者均予以汰換。
