德國政府原先承諾，將對投資德國的外國晶片業者提供龐大補貼，台積電日前已經宣布和德國的博世（Bosch）、英飛凌合作，在德勒斯登投資100億歐元設置晶圓廠－歐積電，並得到官方承諾給予的50億歐元巨額補貼；但是，德國聯邦憲法法院11月公布一項裁決指稱，德國政府尚未動用的防疫基金轉入氣候及轉型基金違憲，導致明年聯邦預算出現缺口，可能影響台積電德國廠補貼，若德國減少補貼，最壞的情況是台積電可能被迫取消投資計畫。
對此，台積電表示，目前沒有回應。經濟部長王美花則表示，由於德方已經公開說明會積極處理預算問題，因此，需先確認德國政府預算問題是否能夠順利克服。
不只台積電，英特爾計畫在德國東部馬德堡斥資300億歐元設立2座新廠，並獲得99億歐元補貼，這也是德國二戰後史上最大筆外國投資案，英特爾迄今對於德國投資案也未予回應。業界認為，半導體補貼專案可能會成為預算風波的犧牲品，這個結果可能對德國聲譽造成巨大傷害。
知情人士透露，如果德國政府減少補貼承諾，台積電可能不得不重新談判德勒斯登廠的投資案，包括與德國合資夥伴的條款，最壞的情況是如果9個月後發現沒補貼，台積電可能取消德國投資計畫，也就是說，歐積電的前景充滿不確定性。
