濾能參展SEMICON Taiwan 2026　過濾設備、再生濾網Q4貢獻營收

AMC微污染防治與半導體化學濾網專業廠商濾能（6823）將於2026年9月2日至4日參與SEMICON Taiwan 2026，於南港展覽館二館四樓R7812攤位，展示GFT-SPR（GreenFiltec-Surface Plasma Reaction，預水洗反應單元過濾設備）、高階AMC化學濾網及循環再生技術。公司今年兩項新產品取得關鍵進展，其中GFT-SPR陸續裝機出貨；再生濾網亦已通過主要客戶認證，預計均於第四季貢獻營收。隨著新技術陸續進入實際應用，進一步推動濾能朝更完整的AMC微污染控制方案前進。

濾能表示，先進製程進入EUV世代後，製程對AMC（Airborne Molecular Contamination，空氣中分子污染物）的控制要求持續提高，部分應用已進入sub-ppb等級，化學濾網也從傳統耗材逐漸成為維持製程環境與良率的重要環節。隨晶圓廠持續擴建、潔淨室規模放大，加上化學濾網具有週期性汰換需求，形成長期且結構性的市場需求。另一方面，淨零與ESG趨勢也持續改變半導體耗材的使用模式，品牌客戶與供應鏈陸續提出RE100、碳中和及減廢目標，促使半導體耗材由一次性使用朝減量、重複使用及循環再生方向發展。

濾能深耕AMC防治超過十年，在既有化學濾網與駐廠工程服務基礎上，持續投入設備化與循環再生技術，從一次性耗材供應進一步朝兼顧製程潔淨、使用效率與減碳需求的整合解決方案發展。其中，GFT-SPR為今年技術落地的重要進展，SPR透過反應機制處理特定分子污染物，可與既有AMC濾網搭配，形成前端處理與後端過濾的整合架構，補強傳統吸附式濾網的應用範圍。