現場屍體並因大火造成的高度碳化難以辨識，經過檢察官相驗後緊急採集遺體檢體，並由3位已來台的家屬以口腔棉棒採集DNA，緊急送往法務部法醫研究所進行DNA型別鑑定及建檔，檢方並指示警方通知其餘死者家屬儘速來台，配合執行DNA鑑定比對。
6名客死異鄉的越南籍男性國際移工，分別包括、20歲的阮文廌、21歲的阮重義、22歲的陳紅水、裴英忠、25歲的黃庭預，31歲的馮重俊，死因皆為在大火中嚴重燒灼休克致死。
檢方指出，在漏夜偵訊矽卡公司48歲董事長陳宏如和47歲廠長謝朝怡，以及自火場幸運逃生的越南籍移工包括22歲陳文利、29歲潘文成、30歲朱庭武等人，以釐清矽卡公司宿舍管理等疑問，偵訊後認定陳宏如及謝朝怡涉犯刑法業務過失致死罪，分別諭知以100萬元交保，並限制出境。
